Специалист в области технологического обеспечения полного цикла производства изделий с наноструктурированными керамическими покрытиями (стр. 5 )

IV. ВИДЫ КВАЛИФИКАЦИОННЫХ СЕРТИФИКАТОВ, ВЫДАВАЕМЫХ НА ОСНОВЕ НАСТОЯЩЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА

Наименование квалификационного сертификата	Перечень трудовых функций, успешное выполнение которых необходимо для получения квалификационного сертификата
Сертификат соответствия квалификационному подуровню 7.1	В1/7-__, В3/7-__, В4/7-__, В5/7-__, С5/7-__, С6/7-__, С7/7-__, D2/7-__, D4/7-__.
Сертификат соответствия квалификационному подуровню 7.2	А1/7-___, А2/7-___, А3/7-___, В2/7-__, В6/7-__, С1/7-__, С2/7-_, С3/7-__, С4/7-__, C8/7__, D1/7-__, D3/7-__, D5/7-__.

V. РАЗРАБОТЧИКИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА

Профессиональный стандарт разработан и внесен

Наименование организации	ФИО руководителя	Подпись
Фонд инфраструктурных и образовательных программ (РОСНАНО)

Организации, принявшие участие в разработке настоящего профессионального стандарта

Организация	Должность	ФИО
ГОУ ВПО ННГУ им. , НИФТИ ННГУ	Заместитель директора, д. ф.-м. н., профессор
Заведующий лабораторией, к. ф.-м. н.
НПО «Элан-Практик»	Генеральный директор
Заместитель директора
Институт проблем химической физики РАН	Главный научный сотрудник, д. т.н.
Институт металловедения и физики металлов имени ()	Директор
Московский государственный университет приборостроения и информатики	Заведующий кафедрой наноматериалов и нанотехнологий, д. ф.-м. н., профессор
ОАО "КУМЗ"	Главный металлург
ОАО "ОКБ Сухого"	Начальник отдела материаловедения, к. т.н.
Фонд инфраструктурных и образовательных программ (РОСНАНО)	Руководитель направления образовательных проектов и программ, к. ист. н.
АНО «Национальное агентство развития квалификаций»	Исполнительный директор, к. псих. н.

VI. ЭКСПЕРТИЗА И РЕГИСТРАЦИЯ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА[6]

Организация	Должность	ФИО
ВНИИНМ им. академика	первый заместитель директора
ОАО “А. Люлька - Сатурн”	начальник отдела
центр»	инженер
	генеральный директор
ОАО "НПО "Прибор"	начальник управления

Настоящий профессиональный стандарт утвержден и зарегистрирован ____________________________________________________________

Внесен в Национальный реестр профессиональных стандартов

(рег. №_______________)

Протокол № ___________ Дата __________________

_____________________________________________

ФИО и подпись ответственного лица

Приложение 1

Знания и умения инженера-технолога в области производства наноструктурированных керамических покрытий, касающиеся средств труда (трудовые действия)

Компетенции специалиста Объекты (средства труда)	Знание требований к объектам	Знание регламентов работы объектов	Знание способов управления и контроля состояния и функционирования объектов	Умение контролировать состояние и управлять состоянием и функционированием объектов
Технологическое оборудование	Конкретные требования к знаниям и умениям специалиста, касающимся средств труда, формулируются главным технологом предприятия в соответствии с предлагаемой формой. Пример заполнения формы для инженера-технолога в области производства наноструктурированных керамических покрытий методом магнетронного распыления приведён в Приложении 2.
Технологическая оснастка
Элементы технологической инфраструктуры
Вспомогательные и расходные материалы, в том числе защитные среды
Измерительное и контрольное оборудование и аппаратура
Средства техники безопасности и системы защиты персонала

Знания и умения инженера-технолога в области производства наноструктурированных керамических покрытий, касающиеся предмета труда

Компетенции специалиста Фазы производственного цикла обработки предмета труда	Знание параметров	Умение управлять параметрами и контролировать их	Знание физических, химических и механических процессов на микро и наноуровнях, влияющих на параметры	Умение управлять процессами, влияющими на параметры
Исходное состояние материала	Конкретные требования к знаниям и умениям специалиста, касающимся предмета труда, формулируются главным технологом предприятия в соответствии с предлагаемой формой. Пример заполнения формы для инженера-технолога в области производства наноструктурированных керамических покрытий методом магнетронного распыления приведён в Приложении 2.
Процесс технологической обработки материала
Конечное состояние материала

Приложение 2

Пример заполнения матриц квалификационных требований к инженеру-технологу в области производства объёмных нанометаллов, сплавов, композитов на их основе и изделий из них

Знания и умения инженера-технолога в области производства наноструктурированных керамических покрытий, получаемых методом магнетронного напыления, касающиеся средств труда

Компетенции специалиста Объекты (средства труда)	Знание требований к объектам	Знание регламентов работы объектов	Знание способов управления и контроля состояния и функционирования объектов	Умение контролировать состояние и управлять состоянием и функционированием объектов
Технологическое оборудование
1.1. Вакуумные установки нанесения покрытий методом магнетронного распыления.	Назначение, состав, принцип действия и общие технические характеристики установок.	Регламент работы в объеме сведений «Руководства по эксплуатации вакуумной установки».	Способы управление и контроль функционирования	Выполнять и контролировать все необходимые операции по эксплуатации вакуумной установки
1.1.1. Откачная система вакуумной установки.	Назначение и принцип действия насосов. Их технические характеристики и условия эксплуатации. Назначение, принцип действия и условия эксплуатации запорной арматуры
1.1.2. Вакуумная рабочая камера	Назначения и принцип действия систем охлаждения нагрева камеры и нагрева внутрикамерной оснастки. Назначение и состав внутрикамерной оснастки	Регламенты работы систем охлаждения-нагрева камеры и нагрева внутрикамерной оснастки в зависимости от параметров загрузки изделий (материал, размеры, количество изделий), проводимого техпроцесса и внешних факторов.	Способы контроля и управление работой системы нагрева внутрикамерной оснастки состояния посредством анализа и регулировки параметров операции «откачка вакуумной камеры».	Задавать рабочие параметры системы нагрева в зависимости от параметров загрузки изделий и контролировать проведение данной операции, внося при необходимости корректировки через интерфейс пользователя.
1.1.3. Система напуска и стабилизации давления технологических газов.	Назначение, принцип действия, технические характеристики и условия эксплуатации натекателей. Назначение, принцип действия, технические характеристики и условия эксплуатации датчиков давления. Назначение и принцип действия системы стабилизации давления.	Регламент работы в объёме сведений «Руководства по эксплуатации вакуумной установки» Регламенты работы системы стабилизации давления в металлическом и реактивном режимах нанесения покрытий.	Способы управление и контроль функционирования Способы управления системой стабилизации давления (корректировка технологических режимов, настройка ПИД регулятора).	Выполнять и контролировать все необходимые операции по эксплуатации газовых натекателей и датчиков давления Выполнять настройку и, при необходимости, проводить корректировку параметров системы стабилизации давления.
1.1.4. Внутрикамерные технологические устройства.	Назначение, устройство, принцип действия ионных источников и МРС. Основные технические и технологические параметры и характеристики устройств.	Регламенты работы в объеме сведений «Руководства по эксплуатации вакуумной установки».	Способы управление работой ионных источников и МРС посредством оптимизации рабочих параметров устройств (рабочие давления, разрядные напряжения, импульсные характеристики и др.), обеспечивающей их стабильную работу в течение всего технологического процесса.	Выбирать оптимальные рабочие параметры, обеспечивающие стабильную работу ионных источников и МРС, внося, при необходимости, корректировки через интерфейс пользователя во время проведения технологического процесса.
1.1.5. Источники электропитания внутрикамерных технологических устройств	Назначение блоков питания технологических устройств. Основные технические и технологические параметры и характеристики блоков питания.	Регламенты работы блоков питания	Контроль функционирования блоков питания	Контролировать функционирование блоков питания согласно регламентам
1.1.6. Автоматизированная система управления технологическим процессом (АСУТП) на базе микроконтроллера с устройствами ввода-вывода и промышленного компьютера с развитым интерфейсом пользователя.	Назначение и решаемые задачи АСУТП. Перечень технологических и функциональных устройств и систем вакуумной установки, включенных в АСУТП.	Функциональная, алгоритмическая и техническая структура АСУТП. Интерфейс пользователя.	Способы управление и контроль функционирования устройств и систем вакуумной установки в объеме сведений «Руководства пользователя программного обеспечения АСУТП вакуумной установки».	Поводить технологические процессы нанесения покрытий с использованием всех возможностей управления, контроля, корректировки, протоколирования процессов, предоставляемых программным обеспечением АСУТП вакуумной установки.
1.2. Оборудование для подготовки поверхности изделий к нанесению покрытий.
1.2.1. Установки механической подготовки поверхности (полировки, галтовки, щеточной и микроструйной обработки).	Назначение, устройство, принцип действия и технические характеристики установок механической подготовки поверхностей.	Технологические режимы механической обработки поверхностей, реализуемые в используемых установках.		Участвовать в отработке технологических режимов механической и химической подготовки поверхности изделий, режимов снятия покрытий. Проводить выходной контроль качества поверхности изделий после выполнения указанных операций.
1.2.2. Установки химической подготовки поверхности (автоматические моечные машины, ультразвуковые ванны, пароструйные установки).	Назначение, устройство, принцип действия и технические характеристики установок химической подготовки поверхностей.	Технологические режимы очистки поверхности, реализуемые в используемых установках химической подготовки.
1.2.3. Установки для снятия покрытий (химического травления, электро-химического травления).	Назначение, устройство, принцип действия и технические характеристики установок для снятия покрытий.	Технологические режимы травления покрытий, реализуемые в используемых установках.
2. Технологическая оснастка	Требования к материалам и конструктивным особенностям оснастки для размещения изделий в вакуумной камере. Требования к материалам и конструктивным особенностям оснастки для механической и химической подготовки изделий и снятия покрытий.			Участвовать в разработке и приемке крепежной оснастки для развески изделий в части задания исходных технических требований и контроля их выполнения. Участвовать в разработке и приемке крепежной оснастки для механической и химической обработке поверхности задания исходных технических требований и контроля их выполнения.
3. Элементы технологической инфраструктуры	Состав, функциональные схемы и основные технические требования к системам водяного охлаждения и обеспечения установок технологическими газами. Технические требования к климатическим условиям и чистоте технологических участков.			Контролировать выполнение основных технических требований к системам водяного охлаждения и обеспечения установок технологическими газами. Контролировать выполнение технических требований по климатическим условиям и чистоте технологических участков.
4. Вспомогательные и расходные материалы, в том числе защитные среды
4.1. Расходные материалы и защитные среды, используемые на стадии механической подготовки поверхности изделий.	Виды и технические характеристики абразивных, галтовочных материалов и полировальных паст.	Условия и регламенты применения абразивных, галтовочных материалов и полировальных паст в зависимости от материала изделий.		Составлять нормы расхода материалов для проведения механической подготовки различных видов изделий.
4.2. Расходные материалы, используемые на стадии химической подготовки поверхности изделий.	Технические требования к применению СМС, органических и неорганических растворителей и средств химического травления.	Условия и регламенты применения растворителей и средств химического травления в зависимости от материала изделий, типа загрязнений и видов снимаемых покрытий.		Составлять нормы расхода реактивов для проведения химической подготовки различных видов изделий и снятия определенных типов покрытий.
4.3. Расходные материалы, используемые при выполнении операции снятия покрытий.
4.4. Расходные материалы, используемые на стадии нанесения покрытий.	Технические требования и характеристики магнетронных мишеней и технологических газов.	Ресурс магнетронных мишеней для производства различных типов покрытий.		Составлять нормы расхода магнетронных мишеней и технологических газов для проведения определенных технологических циклов нанесения покрытий.
5. Измерительное и контрольное оборудование и аппаратура
5.1. Оборудование для входного контроля поверхности изделий перед нанесением покрытий.	Технические характеристики микроскопа. Типы недопустимых загрязнений и дефектов поверхности.	Влияние загрязнений и механических дефектов поверхности на параметры качества получаемых покрытий.		Проводить визуальный контроль загрязнений и механических дефектов.
5.2. Оборудование и аппаратура для контроля параметров технологического процесса нанесения покрытий.
5.2.1. Контроль давления и расходов технологических газов (датчики давления, регуляторы расхода газа).	Технические характеристики датчиков и регуляторов, рабочие диапазоны контролируемых параметров по давлениям и расходам газов.	Влияние условий эксплуатации (температура, вибрация, электромагнитные помехи) на показания приборов. Калибровка датчиков давления.		Контролировать и управлять парциальным давлением и расходом рабочих газов через интерфейс пользователя АСУТП.
5.2.2. Контроль температуры поверхности изделий (пирометрия, термопарные измерения).	Устройство, принцип действия и технические характеристики пирометров и термопар.	Методики проведения термопарных и пирометрических измерений в плазменной среде магнетронного разряда.		Контролировать температуру поверхности через интерфейс пользователя АСУТП или автономные устройства.
5.2.3. Контроль потока атомов, распыляемых с магнетронной мишени (оптический эмиссионный спектрометр – ОЭС).	Назначение, устройство, принцип действия и технические характеристики ОЭС.	Методика проведения контроля потока распыляемых атомов в условиях реактивного режима работы магнетрона		Управлять потоком распыляемых атомов через интерфейс пользователя АСУТП или автономное устройство.
5.2.4. Контроль парциального давления технологических реактивных газов и кислородсодержащих примесей (квадрупольный масспектрометр)	Назначение, устройство, принцип действия и технические характеристики квадрупольного масспектрометра.	Методики проведения контроля парциального давления компонентов газовой среды в различных операциях технологического процесса.		Контролировать и управлять парциальным давлением реактивного газа через интерфейс пользователя АСУТП или автономное устройство.
5.2.5. Контроль электрических параметров (ток, напряжение) работы внутрикамерных технологических устройств (магнетронов, ионных источников, системы потенциала смещения).	Рабочие диапазоны контролируемых параметров внутрикамерных технологических устройств.	Влияние определяющих параметров операций технологического процесса на величины контролируемых электрических параметров устройств.		Контролировать и управлять электрическими параметрами внутрикамерных устройств через интерфейс пользователя АСУТП.
5.2.6. Контроль импульсных характеристик магнетронного разряда (цифровой осциллограф).	Параметры импульсов магнетронного разряда (длительность, частота, амплитудное значение, форма импульса)	Рабочие диапазоны параметров импульсов для различных типов МРС, их влияние на характеристики плазмы разряда.		Управлять параметрами импульсов МРС через интерфейс пользователя АСУТП или дополнительные автономные устройства.
5.3. Оборудование и аппаратура для контроля качества покрытий.
5.3.1. Контроль морфологии поверхности покрытия (металлографический микроскоп).	Устройство, функциональные возможности и технические характеристики металлографического микроскопа.	Работа микроскопа в режимах наблюдения и измерения размеров элементов поверхности объекта.		Проводить визуальный контроль и фоторегистрацию состояния поверхности, измерять характерные размеры её элементов.
5.3.2. Контроль толщины покрытий (Кало-тестер, металлографический микроскоп).	Устройство, назначение, принцип работы и технические характеристики Кало-тестера	Методика подготовки образца и проведения измерения толщины покрытий		Участвовать в проведении подготовки образцов и измерении толщины покрытий.
5.3.3. Контроль механических свойств и характеристик покрытия (нанотвердомер).	Назначение, устройство, принцип действия, технические характеристики и условия эксплуатации нанотвердомера.	Суть метода Оливера – Фарра, требования к образцам для измерения механических свойств покрытий.		Участвовать в проведении измерений механических свойств покрытий в соответствие с требованиями международного стандарта.
5.3.4. Контроль адгезионной прочности покрытий: - метод царапания (скатч-тестер); - метод индентации (Роквелл-тест).	Принципиальные основы, техническая реализация и характеристики методов контроля адгезии.	Измеряемые и фиксируемые параметры для оценки адгезионных характеристик покрытий.		Участвовать в проведении измерений и оценки адгезионной прочности покрытий по соответствующим стандартам.
5.3.5. Контроль шероховатости поверхности покрытий (механический и/или оптический профилометры).	Назначение, принципиальная схема и технические характеристики механических и оптических профилометров.	Основные параметры шероховатости (чистоты) поверхности в соответствии с международными стандартами.		Участвовать в проведении измерений шероховатости поверхности покрытий.
5.3.6. Контроль трибологических свойств покрытий (машина трения).	Назначение, принципиальная схема, и технические характеристики машины трения. Исследуемые трибологические характеристики (коэффициент трения, скорость приведенного износа).	Режимы и условия проведения трибологических испытаний (среда, температура, скорость перемещения, нагрузка).Определение трибологических характеристик.		Участвовать в проведении испытаний и оценки трибологических характеристик покрытий в соответствие с требованиями международных стандартов.
6. Средства техники безопасности (ТБ) и системы защиты (СЗ) персонала.	Перечень и назначение средства ТБ и СЗ персонала в соответствии с проектной, технической документацией и нормами, распространяющимися на них.	Регламенты функционирования средств ТБ и СЗ персонала в соответствии с технической документацией, инструкциями по эксплуатации, охране труда и пожарной безопасности.	Способы контроля средств ТБ и СЗ персонала, находящиеся в пределах компетенции персонала.	Умение управлять и контролировать состояние и функционирование, средств ТБ и СЗ персонала, находящиеся в пределах его компетенции, в соответствие правилам и нормами ведения работ и знаниями требований инструкций по охране труда и пожарной безопасности.

Знания и умения инженера-технолога в области производства наноструктурированных керамических покрытий, получаемых методом магнетронного напыления, касающиеся предмета труда