. 01.06.2016 07.07.2016
. (), , 2016
- ʻ, , 2010
: , ,
, ( )
, 2017
N/6H-SIC - P+/3C-SIC n/6H-SiC - P/C , CVD-
, , , .
()
,
10. .
-
() ,
I