Программа опережающей профессиональной переподготовки в области метрологического обеспечения измерений размеров в нанодиапазоне (стр. 13 )

После выполнения практических занятий у слушателя формируются практические навыки измерения размерных параметров различного класса нанообъектов методами механической профилометрии.

1.3.7 Программа учебного курса «Измерение размерных параметров методами оптической профилометрии»

1.  Список тем лекционного курса. (Объем лекционного курса – 2 часа)

1.1 Темы лекций базового модуля.

№ лекции	Название/Тезисы
1	Принципы оптической профилометрии и область применений.
Основные принципы оптической профилометрии. Общее устройство оптического профилометра. Измеряемые параметры. Юстировка и калибровка оптического профилометра, обеспечение прослеживаемости измерений. Настройки режима получения изображений и их влияние на размерные параметры исследуемых объектов. Математические методы обработки профилограмм.

1.2 Темы практических занятий «Методы оптической для измерения размерных параметров тонких пленок». (Объем модуля - 4 часа)

1

Измерение толщин тонких пленок и высоты ступеньки

Методы изготовления и подготовки образцов с резкой ступенькой для измерения толщины тонкой пленки. Выбор режима работы оптического профилометра. Максимально допустимые перепады высот профилируемых поверхностей. Ограничения возможности проведения измерений параметров объектов различного состава. Обработка результатов профилометрии. Получение параметра шероховатости и неоднородности поверхностей. Получение спектральных характеристик профилограмм.

1.3 Темы практических занятий по теме «Методы оптической для измерения размерных параметров наноструктурированных покрытий». (Объем модуля - 4 часа)

1	Измерение однородности и шероховатости наноструктурированных поверхностей
Максимальное латеральное и высотное разрешение. Выбор режима работы оптического профилометра. Максимально допустимые перепады высот профилируемых поверхностей. Ограничения возможности проведения измерений параметров объектов различного состава. Обработка результатов профилометрии. Получение параметра шероховатости и неоднородности поверхностей. Получение спектральных характеристик профилограмм.

2.  Краткое описание актуальности заявленных тем.

Принципы механической профилометрии и объекты исследования – в ходе данной лекции рассматриваются основы оптической профилометрии. Показываются возможности оптической профилометрии как экспрессного метода контроля размерных параметров. В лекции также рассматривается физические принципы работы и устройство типичного оптического профилометра, определяющие область применения данного метода. Описываются основные измеряемые параметры и их зависимости от настроек профилирования. Рассматриваются вопросы обеспечения прослеживаемости измерений. Рассказывается о Фурье-анализе полученных профилограмм и статистической обработке результатов.

После прослушивания лекций базового модуля и прохождения процедуры контроля знаний у слушателя формируется общее представление о механизмах взаимодействия электромагнитного излучения (света) с исследуемым образцом и принципах работы оптического профилометра, области применения данного метода.

Измерение толщин тонких пленок – в ходе занятия слушатель узнает о методах изготовления и подготовки образцов тонких пленок со ступенькой для измерения толщины. Особое внимание уделяется выбору режима работы оптического профилометра.

Формулируются ограничения возможности проведения измерений параметров объектов различного состава. Слушатель получает практический навык по получению и обработке оптических профилограмм.

Измерение однородности и шероховатости наноструктурированных поверхностей – в ходе занятия лекции слушатель знакомится с приготовлением образцов наноструктурированных поверхностей для исследования на оптическом профилометре. Особое внимание уделяется выбору режима работы оптического профилометра. Формулируются ограничения возможности проведения измерений параметров объектов различного состава. Слушатель получает практический навык по получению и обработке оптических профилограмм.

После выполнения практических занятий у слушателя формируются практические навыки измерения размерных параметров различного класса нанообъектов методами оптической профилометрии.

1.3.8 Программа учебного курса «Измерение размерных параметров методами эллипсометрии»

1.  Список тем лекционного курса. (Объем лекционного курса – 2 часа)

1.1 Темы лекций базового модуля.

№ лекции	Название/Тезисы
1	Принципы эллипсометрии и область применений.
Физические принципы эллипсометрии. Поляризованный свет и характер взаимодействия его с исследуемым объектом. Планарные математические модели исследуемого объекта в традиционной эллипсометрии. Общее устройство эллипсометра. Измеряемые параметры. Область применений. Обеспечение прослеживаемости измерений. Оценка итоговой неопределённости измерений.

1.2. Темы практических занятий «Методы эллипсометрии для измерения размерных параметров тонких пленок». (Объем модуля - 4 часа)

1	Измерение толщин тонких пленок
Методические приемы проведения измерений толщины тонких плёнок методом эллипсометрии. Автокалибровка эллипсометрических измерений по методу многоуглового сканирования. Допустимый диапазон толщин плёнок. Ограничения при исследовании многослойных покрытий. Обработка результатов измерений методом эллипсометрии.

1.3. Темы практических занятий по теме «Методы эллипсометрии для измерения размерных параметров наноструктурированных покрытий». (Объем модуля - 4 часа)

1	Измерение толщин наноструктурированных поверхностей
Методические приемы проведения измерений толщины наноструктурированных покрытий методом. Автокалибровка эллипсометрических измерений по методу многоуглового сканирования. Допустимый диапазон толщин плёнок. Ограничения при исследовании многослойных покрытий. Обработка результатов измерений методом эллипсометрии.

2.  Краткое описание актуальности заявленных тем.

Принципы эллипсометрии и объекты исследования – в ходе данной лекции рассматриваются физические основы метода эллипсометрии, определяющие область применения и ограничения данного метода. Показываются возможности эллипсометрии как экспрессного метода контроля толщины тонких плёнок и покрытий. Рассматриваются планарные математические модели исследуемого объекта в традиционной эллипсометрии, определяющие измеряемые параметры. Рассматриваются вопросы обеспечения прослеживаемости измерений.

После прослушивания лекций базового модуля и прохождения процедуры контроля знаний у слушателя формируется общее представление о механизмах взаимодействия поляризованного света с исследуемым объектом и принципах работы эллипсометра, области применения данного метода.

Измерение толщин тонких пленок – в ходе занятия слушатель овладевает методическими приемами проведения измерений толщины то тонких плёнок методом эллипсометрии; знакомится с процедурой автокалибровки эллипсометрических измерений по методу многоуглового сканирования; на практике знакомится с приемами по обеспечению прослеживаемости результатов измерений.

Измерение толщин наноструктурированных поверхностей – в ходе занятия слушатель овладевает методическими приемами проведения измерений толщины то тонких плёнок методом эллипсометрии; знакомится с процедурой автокалибровки эллипсометрических измерений по методу многоуглового сканирования; на практике знакомится с приемами по обеспечению прослеживаемости результатов измерений.

После выполнения практических занятий у слушателя формируются практические навыки измерения размерных параметров различного класса нанообъектов методами эллипсометрии..