,
(
25
50
75
100
125
150
175
200
225
250
)
1
...
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147
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149
150
151
152
153
154
155
156
157
158
...
166
P-hemt n-AlGaAs/InGaAs/n-AlGaAs -
P-hemt 1-δ n-AlGaAs/InGaAs/GaAs -
-
- , -л ,
1
...
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