Программа учебной дисциплины «электрохимические методы осаждения металлов. особенности осаждения меди» (стр. 1 )

Приложение 10

Министерство образования и науки Российской Федерации

НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ «МИЭТ»

«УТВЕРЖДАЮ»                        

Ректор МИЭТ                        

чл.-корр. РАН                        

____________________

«_____» _____________________ 2011 г.

ПРОГРАММа УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

«ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛОВ.
ОСОБЕННОСТИ ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ»

2011 г.

Рабочая программа учебной дисциплины утверждена на заседании учебно-методического совета образовательных программ опережающей профессиональной подготовки (уровень - магистратура) и переподготовки в области проектирования и производства СБИС с топологическими нормами 90 нм, протокол от 01.01.01 г. № 2.

Организация-разработчик: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Авторы:

, д. т.н., проректор по научной работе.

, к. т.н., доцент.

СОДЕРЖАНИЕ

1. ПАСПОРТ ПРОГРАММЫ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ        4

2. СТРУКТУРА и содержание УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ        5

3. условия реализации программы учебной дисциплины        7

4. Контроль и оценка результатов Освоения учебной дисциплины        8

1. паспорт ПРОГРАММЫ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

«ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛОВ.
ОСОБЕННОСТИ ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ»

1.1. Область применения программы

Программа учебной дисциплины является частью профессиональной образовательной программы переподготовки специалистов по профессии

210100 "Электроника и наноэлектроника"

в части освоения вида профессиональной деятельности:

проектно-технологическая деятельность.

1.2. Место дисциплины в структуре профессиональной образовательной программы:

Дисциплина относится к общепрофессиональным дисциплинам профессионального цикла.

1.3. Цели и задачи учебной дисциплины - требования к результатам освоения дисциплины:

В результате освоения дисциплины обучающийся должен уметь:

- обосновывать выбор методов формирования медной металлизации УБИС с топологическими нормами 90 нм и выше;

- прогнозировать развитие конструктивно-технологического базиса многоуровневой металлизации УБИС с топологическими нормами менее 90 нм.

В результате освоения дисциплины обучающийся должен знать:

- тенденции и перспективы развития систем металлизации УБИС с проектными нормами нанометрового диапазона;

- принципы создания металлизации УБИС с проектными нормами нанометрового диапазона;

- передовой отечественный и зарубежный научный опыт в области создания многоуровневой металлизации УБИС с проектными нормами нанометрового диапазона.

1.4. Рекомендуемое количество часов на освоение учебной дисциплины:

- максимальной учебной нагрузки обучающегося 70 часов, в том числе:

- обязательной аудиторной учебной нагрузки обучающегося 34 часов;

2. СТРУКТУРА И ПРИМЕРНОЕ СОДЕРЖАНИЕ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

2.1. Объем учебной дисциплины и виды учебной работы

Вид учебной работы	Количество часов
Максимальная учебная нагрузка (всего)	70
Обязательная аудиторная учебная нагрузка (всего)	34
В том числе:
Лекционные занятия	6
Лабораторные занятия	12
Практические занятия	8
Итоговая аттестация в форме (указать)  Зачет в этой строке часы не указываются

2.2. Примерный тематический план и содержание учебной дисциплины «Электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди»

наименование                        

Наименование разделов и тем	Содержание учебного материала, лабораторные и практические работы обучающихся (если предусмотрены)	Количество часов	Уровень освоения
Раздел 1. «Электрохимические методы осаждения металлов. Особен-ности осаждения меди»
Тема 1.1. Анализ методов нанесения металлов	Содержание учебного материала	2
1	Сравнительный анализ методов нанесения металла. Роль электрохимических методов.	**
Лабораторные занятия	4
1.	Исследование особенностей импульсного осаждения меди в высокоаспектные канавки.
Практические занятия	*
Контрольные работы	*
Тема 1.2. Катодное осаждение металлов	Содержание учебного материала	2
1	Физико-химические основы катодного осаждения металлов.	**
Лабораторные занятия	12
1.	Исследование закономерностей процессов катодного осаждения металлов
2.	Исследование процессов катодного осаждения сплавов
3.	Исследование структуры и свойств электроосажденных пленок меди
Практические занятия	4
1.	Основные методы электрохимического осаждения металлов.
2.	Особенности тотального и локального электрохимического осаждения металлов.
Контрольные работы	2
Тема 1.3. Особенности электрохимического создания медной металлизации	Содержание учебного материала	2
1	Катодное формирование медной металлизации ультрабольших интегральных схем.	**
Лабораторные занятия	4
1.	Исследование влияния каталитических добавок на свойства осаждаемых пленок меди
Практические занятия
Контрольные работы	2
Всего:	34

3. условия реализации программы учебной дисциплины

3.1. Требования к материально-техническому обеспечению

Реализация программы учебной дисциплины требует наличия аудиторного помещения; лаборатории.

Оборудование аудиторного помещения:

Мультимедийный проектор.

Технические средства обучения:

Программное и коммуникационное обеспечение

Оборудование лаборатории и рабочих мест лаборатории:

Электрохимический комплекс для осаждения металлов, AMMT, Германия

Установки вакуумного нанесения SI 500 PPD, SENTECH, Германия, AXXIS, Kurt Lesker, США.

Сканирующий зондовый микроскоп (Солвер-Р47)

Высокочастотная полуавтоматическая зондовая установка Cascade Microtech S300.

Комплект учебно-методической документации (учебники и учебные пособия, лабораторный практикум, комплекты тестовых заданий).

3.2. Информационное обеспечение обучения

Перечень рекомендуемых учебных изданий, Интернет-ресурсов, дополнительной литературы

Основные источники:

1. , Электрохимические процессы в технологии микро и наноэлектроники. - М. Высшее образование, 2009. - 257 с.

2. , , Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие / Под ред. . - М.: Бином, 2009. - 277 с.

3. , , Технология, конструкции методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч. 2. - М.: «БИНОМ. Лаборатория знаний», 2009. - 422 с.

Дополнительные источники:

2. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. Ч. 2. - Техносфера, 2004. - 536 с.

4. Контроль и оценка результатов освоения учебной Дисциплины

Образовательное учреждение, реализующее подготовку по учебной дисциплине, обеспечивает организацию и проведение промежуточной аттестации и текущего контроля демонстрируемых обучающимися знаний, умений и навыков. Текущий контроль проводится преподавателем в процессе проведения практических занятий и лабораторных работ, тестирования, а также выполнения обучающимися индивидуальных заданий. Формы и методы текущего контроля по учебной дисциплине самостоятельно разрабатываются образовательным учреждением и доводятся до сведения обучающихся в начале обучения.

Для текущего контроля образовательными учреждениями создаются фонды оценочных средств (ФОС).

ФОС включают в себя педагогические контрольно-измерительные материалы, предназначенные для определения соответствия (или несоответствия) индивидуальных образовательных достижений основным показателям результатов подготовки (таблицы).

Раздел (тема) учебной дисциплины	Результаты (освоенные умения, усвоенные знания)	Основные показатели результатов подготовки	Формы и методы контроля
№ 1.1 «Анализ методов нанесения металлов»	БКП-2. Знание базовых маршрутов создания металлизации УБИС с топологическими нормами до 90 нм	Изложение теоретических основ по технологии создания многоуровневой металлизации УБИС	Зачет Тест
№ 1.2 «Катодное осаждение металлов»	БКП-2. Знание базовых маршрутов создания УБИС с топологическими нормами до 90 нм. СКП-8. Навыки использования современного контрольно-измерительного оборудования для электрофизической и функциональной диагностики УБИС с топологическими нормами 90 нм. СКП-11. Умение контролировать параметры разрабатываемых приборов на всех этапах маршрута проектирования, владение методами физической характеризации и верификации УБИС с топологическими нормами 90 нм	Выполнение лабораторного задания	Зачет

Раздел (тема) учебной дисциплины	Результаты (освоенные умения, усвоенные знания)	Основные показатели результатов подготовки	Формы и методы контроля
№ 1.3 «Особенности электрохимического создания медной металлизации»	БКП-2. Знание базовых маршрутов создания УБИС с топологическими нормами до 90 нм. СКП-8. Навыки использования современного контрольно-измерительного оборудования для электрофизической и функциональной диагностики УБИС с топологическими нормами 90 нм. СКП-11. Умение контролировать параметры разрабатываемых приборов на всех этапах маршрута проектирования, владение методами физической характеризации и верификации УБИС с топологическими нормами 90 нм	Выполнение лабораторного задания	Зачет

Оценка знаний, умений и навыков по результатам текущего контроля производится в соответствии с универсальной шкалой (таблица).