,
1.
1.
1.
1.
1.
- 1.
, 1.
1.
(
150
300
450
600
750
900
1050
1200
1350
1500
)
1
...
435
436
437
438
439
440
441
442
443
444
445
446
447
...
642
.
9-
:
: -
(, 2007 .)
- . , 31 01 2013
:
- , .
,
. .
( )
1
- Ni/HfO2/SiO2/Si
-
:
1,3-
1
...
435
436
437
438
439
440
441
442
443
444
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447
...
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