,
(
50
100
150
200
250
300
350
400
450
500
)
1
...
140
141
142
143
144
145
146
147
148
149
150
151
152
...
368
: . .
" , "
,
,
- a-Si:H,
-1
1
...
140
141
142
143
144
145
146
147
148
149
150
151
152
...
368