,
,
.
--.
.
.
.
(
50
100
150
200
250
300
350
400
450
500
)
1
...
95
96
97
98
99
100
101
102
103
104
105
106
107
...
268
" , "
,
,
- a-Si:H,
-1
3
- ,
-
-
1
...
95
96
97
98
99
100
101
102
103
104
105
106
107
...
268
: