,
-
""
(
50
100
150
200
250
300
350
400
450
500
)
1
...
132
133
134
135
136
137
138
139
140
141
142
143
144
...
294
9 ( )
, . ( )
9 -
- " "
21
- 2
2.
. -
,
AlGaN/GaN HEMT
1
...
132
133
134
135
136
137
138
139
140
141
142
143
144
...
294
: