4.3.2. Рабочие эталоны спектральной плотности энергетической яркости излучения должны иметь характеристики в диапазоне длин волн 1 – 400 нм., распределения энергетической яркости по излучающей области - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм, спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм, углового распределения спектральной плотности потока излучения - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному специальному эталону ГЭТ-84-85.
4.3.3. Стандартные образцы оптических характеристик наноразмерных покрытий на основе многослойных наноструктур должны пройти испытания и аттестацию в соответствии с требованиями федерального закона ФЗ-102 об обеспечении единства измерений.
4.4. Требования к видам обеспечения
В ходе выполнения работы должны использоваться:
- сертифицированное оборудование, первичные, вторичные и рабочие эталоны спектрорадиометрии ультрафиолетового излучения, в том числе в экстремальном ультрафиолете, рабочие средства измерений;
-каналы синхротронного излучения, оснащенные специальным метрологическим оборудованием;
- устройства диагностики энергии электронов и радиуса орбиты электронного накопительного кольца.
4.5. Требования к стандартизации и унификации
Рабочие эталоны и средства измерений должны обеспечивать измерение следующих характеристик:
- потока излучения, энергетической освещенности, экспозиционной дозы, абсолютной спектральной чувствительности, распределение потока излучения и относительной спектральной чувствительности с высоким пространственным разрешением, порога чувствительности с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному первичному эталону ГЭТ-162-2009;
- спектральной плотности энергетической яркости источников экстремального ультрафиолета, распределение по излучающей области, распределение абсолютных значений спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения по образцу и угловое распределение спектральной плотности потока излучения с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному специальному эталону ГЭТ-84-85;
- пространсвенной структуры и однородности нанослоев и интерфейсов многослойных наноструктур с использованием относительного углового распределения спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения с прослеживаемостью результатов измерений к Государственным первичным эталонам ГЭТ-84-85 и ГЭТ 162-09;
- стабильности и воспроизводимости характеристик многослойных наноструктур, динамики характеристик непосредственно при формировании изделий в условиях вакуума in situ, динамических характеристик при деградации и разрушении многослойных наноструктур с прослеживаемостью результатов измерений к Государственным первичным эталонам ГЭТ-84-85 и ГЭТ 162-09.
Рабочие эталоны потока излучения, энергетической освещенности должны соответствовать Государственной поверочной схеме ГОСТ 8.552 - 2001.
Рабочие эталоны спектральной плотности энергетической яркости должны соответствовать Государственной поверочной схеме ГОСТ 8.197 - 2005.
Разработка и аттестация методик измерений, методик поверки и калибровки средств измерений, должна проводиться в соответствии с требованиями ГОСТ Р 1.5-2004, ГОСТ 8.563-962009, ГОСТ Р ИСО/МЭК 5725-(1-6)-2002.
Конструкторская, технологическая и программная документация должна соответствовать требованиям действующих стандартов ЕСКД, ЕСТД, ЕСПД.
4.6. Требования к предоставлению информации
4.6.1. Исполнитель обязан предоставлять Заказчику и/или уполномоченной им организации информацию о ходе и результатах реализации работ, достигнутых значениях заданных целевых индикаторов и показателей за отчетный период, выполнять требования по осуществлению ввода отчетных данных в информационную компьютеризированную систему Заказчика.
4.6.2. По окончанию работы результаты передаются Заказчику или в организацию по его указанию по акту.
4.6.3. Аннотация выполненных работ, а также другая информация по проекту, согласованная с Заказчиком, должна быть предоставлена для размещения на федеральном Интернет-портале «Нанотехнологии и наноматериалы».
5. Технико-экономические показатели
5.1. Основные технико-экономические требования
Результаты работы должны быть направлены на решение проблемы создания метрологического обеспечения технологии формирования оптических многослойных наноструктур, используемых:
- в строительной промышленности для нанесения на стекла оконных рам энергосберегающих наноразмерных покрытий с заданными оптическими свойствами;
- в электронной промышленности для повышения быстродействия компьютерных систем и средств автоматической оперативной диагностики;
- в термоядерной энергетике для совершенствования средств диагностики высокотемпературной плазмы;
- в космической технике для создания высокоэффективных средств дистанционного зондирования атмосферы, диагностики солнечной активности, а также средств обнаружения и локации плазменных факелов ракетных двигателей;
- в медицинской аппаратуре для маммографических исследований, наблюдений кровеносных сосудов, ранней диагностики и лечении онкологических заболеваний.
Экономические требования не предъявляются.
5.2. В процессе выполнения работы должны быть достигнуты следующие значения программных индикаторов
(Участник размещения заказа вправе увеличить предлагаемые значения программных индикаторов )
№ п/п | Индикаторы | ед. изм. | 2011 год |
1 | Удельная оснащенность (стоимость оборудования) одного сотрудника, занятого в исследованиях и разработках в рамках национальной нанотехнологической сети | тыс. рублей | 860 |
2 | Количество организаций, использующих исследовательское, метрологическое и технологическое оборудование в режиме коллективного пользования | единиц | 6 |
3 | Численность молодых ученых (специалистов), работающих в научных, инновационных, внедренческих и коммерческих организациях - участниках Программы | человек | 2 |
4 | Количество созданных новых рабочих мест для высококвалифицированных работников | единиц | 5 |
5 | Численность студентов и аспирантов, привлеченных к работе (прошедших практику) на новом нанотехнологическом оборудовании | человек | 5 |
6. Требования по объему предоставления гарантий качества работы
Объем предоставления гарантий качества работы включает следующие требования:
- все создаваемые или используемые в этой работе средства измерений должны быть внесены в Государственный реестр средств измерений и проходить поверку или калибровку в соответствии с установленным межповерочным (межкалибровочным) интервалом в течение всего гарантийного срока;
- все разрабатываемые методики измерений должны быть аттестованы специализированными аккредитованными организациями и включены в Государственный реестр методик измерений;
- все создаваемые или закупаемые стандартные образцы состава и свойств материалов должны быть аттестованы в установленном порядке и включены в Государственный реестр стандартных образцов;
- результаты измерений на создаваемом или используемом метрологическом оборудовании должны отвечать требованиям достоверности и прослеживаемости к соответствующим государственным эталонам, участвующим в международных сличениях, что должно подтверждаться соответствующими документами (свидетельством о поверке или калибровке).
Исполнитель гарантирует функциональность созданных средств измерения и разработанных методик в соответствии с требованиями, установленными в настоящем задании и обязуется за свой счет устранять недостатки в разработанных средствах измерений и нормативно-методических и иных документах в случае их выявления, как во время выполнения государственного контракта, так и в течение гарантийного срока.
7. Требования по сроку предоставления гарантий качества работы
Срок предоставления исполнителем гарантий качества на результаты выполненной работы должен составлять не менее двух лет с даты подписания акта сдачи-приемки работ последнего этапа государственного контракта.
8. Перечень этапов, содержание основных работ по этапам
Работа выполняется в 2011 г. в 2 этапа.
Наименование этапов, содержание выполняемых работ, перечень документов, разрабатываемых на этапах, сроки исполнения и контрактная цена должны быть приведены участником размещения заказа в календарном плане (приложение № 2 к государственному контракту).
9. Состав разрабатываемой документации
В процессе выполнения работ должны быть разработаны следующие документы:
Промежуточный и заключительный отчеты, содержащие результаты выполнения работ за отчетный период.
Комплект нормативно-методических документов для метрологического обеспечения измерений оптических характеристик многослойных наноструктур, включающий:
Аттестованные методики измерений:
- абсолютной спектральной чувствительности фоторезистов;
- потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 1-10 нм;
- экспозиционной дозы и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 1-400 нм;
- зонной чувствительности и временной стабильности фотодиодов с многослойными наноструктурами;
- энергетической яркости с высоким пространственным разрешением в диапазоне длин волн 1-30 нм;
- спектрального коэффициента зеркального и диффузного отражения в диапазоне длин волн 1-10 нм;
Аттестованные методики поверки и калибровки:
- средств измерений спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне длин волн 1-10 нм;
- средств измерений абсолютной спектральной чувствительности фоторезистов;
- средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 1-10 нм;
- средств измерений экспозиционной дозы и энергетической освещенность в диапазоне длин волн 1-400 нм;
|
Из за большого объема этот материал размещен на нескольких страницах:
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 |


