Дисциплина «Философия» (стр. 24 )

4.1.3 Разработка и аттестация методик измерений геометрических параметров текстуры и механических характеристик большепольных поверхностей наноструктурированных конструкционных и функциональных материалов.

4.1.4 Разработка методик поверки и калибровки измерительных установок комплекса.

4.1.5 Проведение испытаний измерительных установок комплекса и внесение их в Государственный реестр средств измерений.

4.2. Планируемые результаты работы

В результате выполнения работы должны быть разработаны:

4.2.1. Метрологический комплекс для измерений характеристик текстуры большепольных поверхностей на основе мультисенсорной зондовой микроскопии, интерферометрии высокого разрешения и динамической меры перемещения нанометрового диапазона с их привязкой к длине волны стабилизированного лазерного излучения с помощью гетеродинной фазовой интерферометрии.

4.2.2 Аттестованные динамическая мера перемещения нанометрового диапазона и мера геометрических параметров текстуры и физико-механических характеристик наноструктурированных поверхностей конструкционных и функциональных материалов.

4.2.3 Аттестованные методики измерений геометрических параметров текстуры и механических характеристик большепольных поверхностей наноструктурированных конструкционных и функциональных материалов на основе мультисенсорной зондовой микроскопии, интерферометрии высокого разрешения и динамической меры перемещения нанометрового диапазона с их привязкой к длине волны стабилизированного лазерного излучения с помощью гетеродинной фазовой интерферометрии.

4.2.4 Методики поверки, калибровки и испытаний измерительных установок комплекса.

4.2.5 Внесение измерительных установок метрологического комплекса в Государственный реестр средств измерений.

4.2.6 Комплект нормативно-методических и нормативно-технических документов по обеспечению единства и прослеживаемости измерений, выполняемых с использованием созданных установок метрологического комплекса, к соответствующим государственным эталонам, участвующим в международных сличениях с аналогичными эталонами ведущих метрологических центров мира, что необходимо для международного признания калибровочных возможностей в этом виде измерений.

4.3. Требования к составу и параметрам технических средств, создаваемых в ходе выполнения работы

В ходе выполнения проекта должны быть разработаны следующие установки:

1. Сканирующий зондовый микроскоп, оснащенный сменными сенсорами для исключения систематической ошибки взаимодействия сенсора с объектом, и трехкоординатным гетеродинным интерферометром для обеспечения прослеживаемости к эталону метра;

Метрологические характеристики данного средства измерений:

- Диапазон сканирования: 500х500х50 мкм

- Разрешение при сканировании:

В плоскости XY: 3 нм

По оси Z: 0,2 нм

- Погрешность измерения линейных размеров (не хуже):

В плоскости XY: ± 0,1% / 10 нм.

По оси Z: ± 0,1% / 1 нм.

- Измерение нагрузки и глубины индентирования при оценке механических характеристик (в т. ч. твердости и модуля упругости):

Диапазон нагрузок: от 10 мкН до 1 Н.

Разрешение по нагрузке: 10 мкН.

Погрешность измерения нагрузки, не хуже: ± 1% / 20 мкН

Глубина индентирования: от 10 нм до 10 мкм

Погрешность определения глубины индентирования, не хуже: ±1% / 2 нм.

- Измерение латеральных сил при оценке адгезионной/когезионной прочности покрытий:

Диапазон латеральных сил: 20 мкН-100 мН.

Разрешение: 20 мкН.

Погрешность измерения силы ± 1% / 40 мкН.)

-  Большепольный интерферометр Физо, реализующий алгоритм обработки интерферограмм по методу фазовых шагов;

- Контроль формы плоских поверхностей крупногабаритных оптических деталей диаметром до 300 мм;

- Приборная погрешность на волновом фронте по критерию
среднеквадратического отклонения (СКО) — не более l/100;

- Случайная составляющая погрешности прибора — 0,2 %.

-  Динамическая мера;

-  Мера перемещения по вертикали с диапазоном перемещения от 1 нм до более 100 нанометров.

-  Мера перемещения по горизонтали с диапазоном перемещения от 1 нм до более 100 нанометров.

-  Погрешность перемещения мер не должна превышать 1 нанометра.

-  Электронная система управления мерами перемещения, генерирующая управляемые от компьютера высоковольтные сигналы управляемой формы (модулированные по амплитуде, длительности и частоте) с амплитудой до +/- 2000 вольт. Погрешность измерения максимальной амплитуды генерируемых импульсов не превышает 0.1 %.

-  Оптический интерферометр с диапазоном измеряемых перемещений более 0,1 метра и погрешностью измерений 0,3 нанометра.

-  Результаты измерений в режиме реального времени отображаются на мониторе управляющего компьютера, передаются по интернет для дистанционного доступа.

-  Управление перемещением и контроль погрешности перемещения должно быть полностью автоматизировано с помощью специализированного программного обеспечения и обеспечивать удаленный доступ по интернет.

4. Большепольные (до 300х300 мм) меры рельефа с нанотекстурой с метрологическими характеристиками: среднеквадратическое отклонение (СКО) рельефа не более l/100 нм.

4.4. Требования к видам обеспечения

В ходе выполнения работ для обеспечения единства и прослеживаемости измерений должны использоваться:

Государственный первичный специальный эталон единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2010).

Государственный первичный специальный эталон единицы длины отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм (ГЭТ 183-2010).

Прецизионный интерферометр белого света типа ZYGO модели NewView 6200 или его аналог.

Лазерный гетеродинный 3-х координатный интерферометр

Набор аттестованных мер высоты рельефа в ранге рабочих эталонов, а также мера рельефа типа МШПС.

4.5. Требования к стандартизации и унификации

Разработка и аттестация унифицированных методик выполнения измерений, методик поверки и калибровки средств измерений должна проводиться в соответствии с требованиями ГОСТ 8.563-2009, ГОСТ Р ИСО/МЭК 5725-(1-6)-2002.

Конструкторская, технологическая и программная документация должна соответствовать требованиям действующих стандартов ЕСКД, ЕСТД, ЕСПД, разрабатываемые стандарты – требованиям ГОСТ Р 1.5.

4.6. Требования к предоставлению информации

4.6.1. Исполнитель обязан предоставлять Заказчику и/или уполномоченной им организации информацию о ходе и результатах реализации работ, достигнутых значениях заданных целевых индикаторов и показателей за отчетный период, выполнять требования по осуществлению ввода отчетных данных в информационную компьютеризированную систему Заказчика.

4.6.2. По окончанию работы результаты передаются Заказчику или в организацию по его указанию по акту.

4.6.3. Аннотация выполненных работ, а также другая информация по проекту, согласованная с Заказчиком, должна быть предоставлена для размещения на федеральном Интернет-портале Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия продукции наноиндустрии.

5. Технико-экономические показатели

5.1. Основные технико-экономические требования

Результаты работы должны быть конкурентоспособными на внутреннем и внешнем рынке и быть патентно-чистыми.

Результаты работы должны соответствовать современному мировому уровню, а также позволить декларировать измерительные и калибровочные возможности Российской Федерации в СМС таблицах Палаты Мер и Весов в Париже.

Экономические требования не устанавливаются.

5.2. В процессе выполнения работы должны быть достигнуты следующие значения программных целевых индикаторов

(Участник размещения заказа вправе увеличить предлагаемые значения программных индикаторов )

№ п/п	Индикаторы	ед. изм.	2011 год
1	Удельная оснащенность (стоимость оборудования) одного сотрудника, занятого в исследованиях и разработках в рамках национальной нанотехнологической сети	тыс. рублей	860,0
2	Количество организаций, использующих исследовательское, метрологическое и технологическое оборудование в режиме коллективного пользования	единиц	3
3	Численность молодых ученых (специалистов), работающих в научных, инновационных, внедренческих и коммерческих организациях - участниках Программы	человек	2
4	Количество созданных новых рабочих мест для высококвалифицированных работников	единиц	4
5	Численность студентов и аспирантов, привлеченных к работе (прошедших практику) на новом нанотехнологическом оборудовании	человек	2

6. Требования по объему предоставления гарантий качества работы

Объем предоставления гарантий качества работы включает следующие требования:

- все создаваемые или используемые в этой работе средства измерений должны быть внесены в Государственный реестр средств измерений и проходить поверку или калибровку в соответствии с установленным межповерочным (межкалибровочным) интервалом в течение всего гарантийного срока;

- все разрабатываемые методики измерений должны быть аттестованы специализированными аккредитованными организациями и включены в Государственный реестр методик измерений;

- все создаваемые или закупаемые стандартные образцы состава и свойств материалов должны быть аттестованы в установленном порядке и включены в Государственный реестр стандартных образцов;

- результаты измерений на создаваемом или используемом метрологическом оборудовании должны отвечать требованиям достоверности и прослеживаемости к соответствующим государственным эталонам, участвующим в международных сличениях, что должно подтверждаться соответствующими документами (свидетельством о поверке или калибровке).

Исполнитель гарантирует функциональность созданных средств измерения и разработанных методик в соответствии с требованиями, установленными в настоящем задании и обязуется за свой счет устранять недостатки в разработанных средствах измерений и нормативно-методических и иных документах в случае их выявления, как во время выполнения государственного контракта, так и в течение гарантийного срока.