Дисциплина «Философия» (стр. 22 )

Шифр 2011-03-3.1-011

1. Основание для выполнения работ

Федеральная целевая программа «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 - 2011 годы» (далее ФЦП);

Постановление Правительства Российской Федерации от 21 июня 2010 г. № 000 «О внесении изменений в постановление Правительства Российской Федерации от 2 августа 2011 г. № 000»;

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от
«16» марта 2011 г. № 000 «О размещении заказов на выполнение работ в рамках федеральной целевой программы "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 - 2011 годы».

Начало работ: « » апреля 2011 г.

Окончание работ: «25» декабря 2011 г.

2. Головной исполнитель и соисполнители:

2.1. Головной исполнитель: (Указывается полное наименование головного исполнителя и город расположения)[12]

2.2. Соисполнители: (Если предусмотрено их участие в выполнении работы, указывается полное наименование каждого соисполнителя, город расположения и виды выполняемых работ. Если участие соисполнителей в выполнении работ не предусмотрено, слово «Соисполнители» заменяется на слова «Соисполнителей нет»)

3. Цель выполнения работы

Разработка комплекса аттестованных методик и средств, обеспечивающих высокоточные прослеживаемые измерения непосредственно в технологических процессах in situ (на месте) топологических и оптических характеристик многослойной наноструктурированной поверхности, включая методы экспресс-контроля на основе комплексного использования измерительного оборудования создаваемого параметрического ряда интерферометров.

4. Основные требования к выполнению работы

4.1. Основное содержание работы

4.1.1. Разработка методов динамической интерферометрии, позволяющей осуществлять измерения формы и текстуры поверхности с точностью 1-2 ангстрема и производительностью 30 мегапикселов в секунду за счет создания пространственного аналога гетеродинного интеферометра с использованием высокоскоростных камер.

4.1.2. Создание параметрического ряда интерферометров для измерения текстуры и формы поверхности различного размера за счет использования универсальных оптико-механических узлов и совершенствования алгоритмов реконструкции фазы волновых фронтов.

4.1.3. Разработка алгоритмов обнаружения дефектов по оптическому фазовому изображению, получаемому в интерферометрах, с латеральным разрешением 2-3 нм.

4.1.4. Разработка методов локальной элипсометрии наноструктури-рованной поверхности.

4.1.5. Создание набора мер для поверки, калибровки и проведения испытаний с целью утверждения типа средств измерений входящих в состав создаваемого параметрического ряда интерферометров для обеспечения измерения текстуры и формы поверхности.

4.1.6. Разработка и аттестация четырех методик измерений для создаваемого параметрического ряда интерферометров и эллипсометра, предназначенных для измерения текстуры и формы поверхности.

4.1.7. Разработка методик поверки и калибровки всех средств измерений, входящих в состав создаваемого параметрического ряда интерферометров.

4.1.8. Проведение мероприятий по обеспечению прослеживаемости измерений с помощью создаваемого параметрического ряда интерферометров для обеспечения измерения текстуры и формы поверхности к соответствующим государственным эталонам РФ

4.2. Планируемые результаты работы

В результате выполнения работы должны быть разработаны:

4.2.1. Методы (методики измерений) динамической интерферометрии, позволяющей осуществлять измерения формы и текстуры поверхности с точностью 1-2 ангстрема и производительностью 30 мегапикселов в секунду с помощью пространственного аналога гетеродинного интерферометра с использованием высокоскоростных камер.

4.2.2. Параметрический ряд интерферометров в соответствии с пунктом 4.3 для измерения текстуры и формы поверхности различного размера.

4.2.3. Алгоритмы обнаружения дефектов по оптическому фазовому изображению, получаемому в интерферометрах, с латеральным разрешением 2-3 нм.

4.2.4. Набор мер для поверки, калибровки и проведения испытаний с целью утверждения типа средств измерений, входящих в состав создаваемого параметрического ряда интерферометров для измерения текстуры и формы поверхности

4.2.5. Аттестованные методики измерений шероховатости и топологии поверхности с использованием приборов, входящих в параметрический ряд, методики поверки всех средств измерений, входящих в состав создаваемого параметрического ряда интерферометров.

4.2.6. Практические рекомендации по применению интерферометров для обеспечения измерения текстуры и формы поверхности различного размера.

4.3. Требования к составу и параметрам технических средств, создаваемых в ходе выполнения работы

Разрабатываемый параметрический ряд средств измерений топологических и оптических характеристик многослойной наноструктурированной поверхности должен состоять из следующих средств измерений:

4.3.1. Динамический интерферометр

Основные технические характеристики должны быть не хуже:

Характеристика	Значение
Источник излучения	полупроводниковый лазер
Длина волны, нм	473, 635, 650
Мощность, мВт	20
Тип камеры	КМОП
Частота ввода кадров, к/с	300
Размер изображения, пикселей	640´480
Максимальная погрешность по глубине, нм	1
Алгоритм калибровки зеркала	Фурье-метод
Алгоритм реконструкции	метод фазовых шагов
Частота реконструкции фазовых изображений, пикселей/с	9.2Мп/с

4.3.2. Профилометр интерференционный компьютерный

Основные технические характеристики должны быть не хуже:

Характеристика	Значение
Источник излучения	He-Ne лазер, l = 632 нм
Приемник	ПЗС камера
Поле зрения	30 мм
Исследуемые поверхности	Планарные, сферические
Коэффициент отражения измеряемых изделий на длине волны 632 нм, не менее	50 %
Градиенты профиля высота/длина, не более	10-3/1
СКО измерений высоты профиля поверхности, не более	10 нм
Относительная погрешность измерения радиуса кривизны сферического зеркала (R ~ 6 м)	0.7 %

4.3.3. Автоматизированный интерференционный микроскоп

Основные технические характеристики должны быть не хуже:

Источник излучения	лазер
Длина волны, нм	473, 635, 650
Продольное разрешение, нм	0.5
Поле зрения, мкм × мкм	145 × 109 30 × 23
Увеличение объектива, крат	32
Размер изображения, пикселов	1380 × 1024

4.4. Требования к видам обеспечения

В ходе выполнения работ для обеспечения единства и прослеживаемости измерений должны использоваться:

Государственный эталон элипсометрии для обеспечения прослеживаемости результатов измерений топологических и оптических характеристик многослойной наноструктурированной поверхности;

Государственный первичный специальный эталон единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2010).

Государственный первичный специальный эталон единицы длины отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм (ГЭТ 183-2010).

Набор мер для поверки, калибровки и аттестации средств измерений топологических и оптических характеристик наноструктурированной поверхности;

4.5. Требования к стандартизации и унификации

4.5.1. Разработка и аттестация методик измерений (должны проводиться в соответствии с требованиями ГОСТ 8.563-2009, ГОСТ Р ИСО/МЭК 5725-(1-6)-2002), в том числе:

- Методика измерения толщины покрытий при различных геометрических и оптических параметрах, таких как пористость и размер пор, шероховатость и оптический коэффициент отражения.

-Методика контроля воспроизводимости 3D-геометрических параметров керамического газочувствительного элемента, приготовленного по золь-гель технологии

- Методика измерения 3D-геометрии наноразмерных электродов акустоэлектронных устройств на пьезоподложках

- Методика определения наличия подслоя ванадия при формировании алюминиевых наноразмерных электродов акустоэлектронных устройств на пьезоподложках.

4.5.2. Разрабатываемые динамический интерферометр, профилометр интерференционный компьютерный с полем зрения 30 мм, а также автоматизированный микроинтерферометр должны пройти испытания с целью утверждения типа средства измерений.

4.5.3. Средства измерений, эталонные меры и методики измерений по своему составу и показателям точности должны отвечать требованиям достоверности и прослеживаемости измерений к соответствующим государственным эталонам, участвующим в международных сличениях.

4.5.4. Конструкторская, технологическая и программная документация должна соответствовать требованиям действующих стандартов ЕСКД, ЕСТД, ЕСПД.

4.6. Требования к предоставлению информации

4.6.1. Исполнитель обязан предоставлять Заказчику и/или уполномоченной им организации информацию о ходе и результатах реализации работ, достигнутых значениях заданных целевых индикаторов и показателей за отчетный период, выполнять требования по осуществлению ввода отчетных данных в информационную компьютеризированную систему Заказчика.