Ионно–плазменные покрытия на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией (стр. 38 )

243. Barin I, Knacke O., Kubaschewski O. Thermochemical properties of inorganie substances. Berlin, New York, Düsseldorf: Springer–Verlag, Verlag Stahleisen, 1977. 861p.

244. Carlson O. N., Smith J. F., Nafziger R. H. The vanadium–nitrogen system: a review // Metall. Trans., 1986, A17, № 7–12, 1647–1656.

245. Fillit R. Y., Perry A. J. Residual stress and X–ray elastic constants in highly textured physically vapor deposited coatings// Surf. and Coat. Technol., 1988, v.36, p.647–659

246. Endon T., Idemitsu K., Kawakami M. X–ray residual stress measurement and its variation during plane bending fatigue and sliding wear processes in TiC, TiN, TiB2 and Al2O3 coated carbon steels// Proc. 5th Symposium on Advanced Nuclear Energy Reseach, Tokio,1992, p.944–952.

247. Gabriel H. M., Kloos K. H. Morfologond structure of ionplated TiN, TiC and Ti(C, N) coating //Thin Solid Films.1984. 118. №3. Р.243–254.

248. Goldschmidt H. J. Interstitual alloys. – London, Butterworths, 1967. 632р.

249. Hiroaki Asada, Yosichi Kishi, Yokio Hirose Measurement of Young’s moduli of TiC–coated by the X–ray method// Thin Solid Films, 1993, v.236, p.247–252.

250. JANAF Thermochemiсal tables: 2–nd edition. NSRDS – NBS 37 – Washington: US GOV. Print. Offise, 1971. 1141p.

251. Kitffer R., Ettmayer P., Petter F. Beitrag zur Kenntnis der Systeme Titan–Crom–Strickstoff, Zirkonium–Crom–Strickstoff und Hafnium–Crom–Strickstoff // Monatshefte fur Chemie 102, 1182–1196, 1971.

252. Koto H. A. O. J. Japan Inst. Metal, 1956, v. 21, № 7, p. 429.

253. Martens A. Das Konigliche Materialprufungsamt der Technischen Hochschule. Berlin, Springer, 1904.

254. Palmquist S. Jernrontorets Annaler (Швеция), 1957, v. 141, № 5, p.300.

255. P. W. Palmberg, G. E. Riach, R. E. Weber, N. C. MacDonald. Handbook Auger Electron Spectroscopy. A reference book of standard data for identification and interpretation of Auger electron spectroscopy data. 1972, Physical Electronics Ind.

256. Rostoker. W., Yamamoto A. Trans. Amer. Soc. Metals, 1954, 46, 1136.

257. Schick H. L. Thermodynamiks of certain refractory compounds. V. 1–2. N–Y.– London: Acad. Press, 1966.

rface Analysis/ The principal Techniques. Ed. John C. Vickerman. John Wiley & Sons. 1997, 497 с.

ОГЛАВЛЕНИЕ

		Стр.
	Введение………………………………………………………………..	3
Глава 1.	Физико–химические основы создания ионно–плазменных покрытий на режущем инструменте………………….……………………..	7
1.1.	Основные принципы разработки ионно–плазменных покрытий с заданными свойствами для режущего инструмента ……………….	7
1.2.	Влияние физико–химических свойств карбидов и нитридов переходных металлов на работоспособность режущего инструмента с ионно–плазменными покрытиями на их основе. Роль нестехиометрии в формировании свойств покрытий…….…………………...	12
	Выводы по главе 1…………………………………………………….	24
Глава 2.	Исследование структуры, состава и свойств ионно–плазменных покрытий на основе нитридов титана, циркония, ванадия и хрома..	26
2.1.	Анализ взаимодействия титана и циркония с азотом. Состав, структура и свойства фаз……………………………………………..	26
2.2.	Принципы моделирования процесса ионно–плазменного напыления покрытий на основе карбидов и нитридов переходных металлов……………………………………………………………………...	36
2.3.	Исследование структуры, фазового, химического состава и свойств покрытий на основе нитридов титана. Влияние нестехиометрии на свойства покрытий………………………………………..	48
2.4.	Исследование структуры, фазового и химического состава покрытий на основе нитридов циркония. Влияние нестехиометрии на свойства нитрида циркония ………………………………………….	61
2.5.	Исследование структуры, фазового, химического состава и свойств покрытий на основе нитридов ванадия. Влияние нестехиометрии на свойства нитрида ванадия……………………………	66
2.6.	Исследование структуры, фазового, химического состава и свойств покрытий на основе нитридов хрома ……………………...	71
	Выводы по главе 2…………………………………………………….	74
Глава 3.	Исследование структуры, фазового и химического состава ионно–плазменных покрытий на основе карбидов титана и циркония……	78
3.1.	Исследование структуры, фазового и химического состава покрытий на основе карбида титана. Влияние нестехиометрии на свойства карбида титана …………………………………………………..	78
3.2.	Исследование структуры, фазового и химического состава покрытий на основе карбида циркония. Влияние нестехиометрии на свойства карбида циркония…………………………………………..	89
	Выводы по главе 3 …………………………………………………….	95
Глава 4.	Исследование структуры, состава и свойств многокомпонентных покрытий на основе нитридов титана, ванадия и хрома. Влияние легирования на физико–химические свойства покрытий..…………	97
4.1.	Исследование влияния легирования на фазовый и химический состав многокомпонентных покрытий на основе нитридов титана и хрома…………………………………………………………………...	97
4.2	Исследование влияния легирования на фазовый и химический состав многокомпонентных покрытий на основе нитридов ванадия и хрома…………………………………………………………………...	111
4.3.	Эксплуатационные свойства многокомпонентных ионно–плазменных покрытий на основе нитридов титана, хрома и ванадия………………………………………………………………………	118
4.4.	Прогнозирование износостойкости инструмента с покрытиями на основе карбидов и нитридов переходных металлов………………..	128
4.5.	Исследование адгезии ионно–плазменных покрытий со сталью склерометрическим методом…………………………………………	140
	Выводы по главе 4……………………………………………………..	153
Глава 5.	Расчетно–экспериментальное исследование остаточных напряжений в ионно–плазменных покрытиях. Влияние нестехиометрического состава фаз на напряженное состояние в системе «покрытие–подложка»………………………………………………………...	159
	Выводы по главе 5……………………………………………………..	177
Глава 6.	Разработка технологических процессов нанесения ионно–плазменных покрытий на основе нитридов и карбидов титана, циркония, ванадия и хрома …………………………………………..	180
	Выводы по главе 6…………………………………………………….	187
	Заключение…………………………………………………………….	189
	Список использованной литературы…………….…………………..	196

Сайдахмедов Равшан Халходжаевич

ИОННО–ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ И КАРБИДОВ ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ С РЕГУЛИРУЕМОЙ СТЕХИОМЕТРИЕЙ

Утверждено к печати Ученым советом Ташкентского

государственного авиационного института

Редактор

Изд.№ М-47. Сдано в набор 10.12.2005. Подписано в печать 29.04.05.

Уч.– изд. л. 12. Тираж 300 экз. Цена договорная.

Издательство «Фан» АН РУз: 700047,

Типография Ташкентского государственного авиационного института.

700047, Ташкент,